機(jī)器人激光清洗系統(tǒng)
1.激光清洗是基于激光與物質(zhì)相互作用效應(yīng)的一項(xiàng)新技術(shù),與傳統(tǒng)的機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機(jī)溶劑,無污染,無噪聲,對人體和環(huán)境無害,是一種“綠色”清洗技術(shù)。
2.激光清洗與機(jī)械磨擦清洗、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比,有明顯的優(yōu)點(diǎn)。它高效、快捷、成本低,對基片產(chǎn)生的熱負(fù)荷和機(jī)械負(fù)荷小,清洗為非損傷;廢物可回收,無環(huán)境污染;安全可靠,不損害操作人員健康;可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層;清潔過程易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離遙控清洗等。
探索產(chǎn)品