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大族激光榮獲2021年度廣東省科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)

作者:大族激光

大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司聯(lián)合深圳大學(xué)/深圳技術(shù)大學(xué)團(tuán)隊(duì)等共同申報(bào)的項(xiàng)目《百瓦級紫外皮秒/納秒激光器關(guān)鍵技術(shù)及系列智能制造裝備》獲批2021年度廣東省科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。


高功率長壽命紫外激光器及其智能制造裝是消費(fèi)電子產(chǎn)品和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)精密加工的核心利器,其性能直接影響高端電子和芯片產(chǎn)品的品質(zhì)。隨著消費(fèi)電子產(chǎn)品和芯片尺寸、精度及品質(zhì)要求的提高,工業(yè)紫外激光器功率和壽命及電子領(lǐng)域加工裝備關(guān)鍵技術(shù)等方面仍面臨難題,亟待突破。


項(xiàng)目組歷經(jīng)多年自主研發(fā)和技術(shù)攻關(guān),突破了紫外激光器功率和壽命的技術(shù)瓶頸,研究了LBO晶體紫外光損傷機(jī)理,攻克了非布儒斯特切角晶體三倍頻技術(shù),使晶體單點(diǎn)工作壽命突破8000小時(shí);提出了光纖/固體混合放大技術(shù),解決了紫外激光器工程化及工藝難題,獲得了百瓦系列皮秒/納秒紫外激光器。


 1.研發(fā)了多軸高精度紫外激光金屬鍍層去除裝備。針對智能手機(jī)通訊信號(hào)被金屬中框鍍層屏蔽的工程技術(shù)難題,提出了紫外激光去除金屬鍍層的新工藝。


2.研發(fā)了紫外激光電路板多層異形加工裝備。發(fā)明了激光動(dòng)態(tài)變焦多層及分層切割新方法,攻克了新一代SiP封裝技術(shù)難題,突破了SiP封裝電路板超厚加工。


3.研發(fā)了先進(jìn)半導(dǎo)體晶圓紫外激光加工裝備。發(fā)明了激光聚焦光斑形狀及大小精確控制方法,攻克了晶圓表面開槽和切割中脆性材料崩邊和裂紋工藝難題,使加工效率提高。


 該項(xiàng)目獲授權(quán)發(fā)明專利20項(xiàng)、實(shí)用新型32項(xiàng)、軟著5項(xiàng)、論文16篇、企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng),獲2017年深圳市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、2017年亞洲唯一入圍國際光學(xué)工程學(xué)會(huì)“棱鏡獎(jiǎng)”等。50多款激光裝備產(chǎn)品暢銷國內(nèi)外,被眾多著名企業(yè)廣泛應(yīng)用,取得較大的經(jīng)濟(jì)效益。項(xiàng)目成果的實(shí)施顯著提高了激光精密制造行業(yè)的科技進(jìn)步,提升了激光制造技術(shù)國際競爭力。

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