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002008
適用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域,針對(duì)于光伏領(lǐng)域TOPCon工藝電池,LPCVD設(shè)備可一站式完成隧穿氧化層/Poly層的制備。熱氧和淀積Poly層兩個(gè)工藝合二為一能夠大幅度提高產(chǎn)能,同時(shí)兼容i/d -Poly生長(zhǎng)工藝。
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
成膜種類 | SiOx, i/d-Poly-Si |
裝片尺寸 | 垂直裝片方式:2880片/批(182mm),2200片/批(210mm) |
膜厚均勻性 | Si0x均勻性:厚度1-3nm可調(diào),精度0.1nm,用拋光片測(cè)試SiOx厚度; |
UP-TIME | ≥95% |
工作溫度范圍 | 400-750℃ |
溫度控制 | 6點(diǎn)控溫,內(nèi)外雙模控制 |
升溫方式 | 自動(dòng)斜率升溫及快速恒溫功能 |
降溫方式 | 最新專利技術(shù),6溫區(qū)分段控制主動(dòng)降溫爐體 |
恒溫區(qū)精度及長(zhǎng)度 | ±1℃/2800mm(550-700℃) |
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定度 | 1±℃/6H |
升溫時(shí)間 | RT→750℃≤45min |
降溫速率 | ≥5℃/min |
溫度控制 | 雙模精確控制 |
系統(tǒng)極限真空度 | <3Pa |
系統(tǒng)漏氣率 | 停泵關(guān)閥后壓力升率<2Pa/min |
壓力控制方式 | 快速調(diào)整全自動(dòng)閉環(huán) |
工藝控制式 | 工藝過程全自動(dòng)控制,多重安全連鎖報(bào)警 |
人機(jī)交互界面 | LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權(quán)限管理、班組管理、組網(wǎng)功能 |
MES/CCRM | 具有 |