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HALO系列“二合一”PECVD

產(chǎn)品特點 1.石墨舟電極技術(shù)：前電極面接觸，可定期更換清洗電極塊，尾電極爐管外可調(diào)，加大電極尺寸及優(yōu)化電極材料，良好解決高頻報警問題；
2.快速降溫爐體：采用最新專利技術(shù)，使?fàn)t體溫度可以快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內(nèi)溫度均勻性；
3.專利儲舟位并行散熱方式：提升降溫效果，縮短降溫時間15%以上，同時避開底部從操作臺前面進氣，提高操作臺內(nèi)部潔凈度；
4.石英管輔助吊裝工具，大大降低安裝和維修更換石英管的難度；
5.膜的致密性高于間接等離子體；
6.比ALD有更好的鈍化效果。

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產(chǎn)品應(yīng)用

項目	技術(shù)指標(biāo)
成膜種類	AlO,SiO,SiON,SiN,SiC
裝片量	768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm)
氧化鋁膜厚均勻性	片內(nèi)≤6%片間≤6%批間≤5%(182片)
氧化鋁折射率	1.65(±0.05)
UP-TIME	≥98%
工作溫度范圍	100~600℃
溫度控制	9點控溫，內(nèi)外雙?？刂?/p>
升溫方式	自動斜率升溫及快速恒溫功能
降溫方式	最新專利技術(shù)，9溫區(qū)分段控制主動降溫爐體
恒溫區(qū)精度及長度	±2°C/3200mm(500°C)
單點溫度穩(wěn)定度	<±1°C/4h(500°C)
升溫時間	RT→450℃≤45min
溫度控制	雙模精確控制
系統(tǒng)極限真空度	<3Pa
系統(tǒng)漏氣率	停泵關(guān)閥后壓力升率<1Pa/min
壓力控制方式	快速調(diào)整全自動閉環(huán)
工藝控制方式	工藝過程全自動控制，多重安全連鎖報警
人機交互界面	LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權(quán)限管理、班組管理、組網(wǎng)功能
MES/CCRM	具有

產(chǎn)品參數(shù)

適用于高效晶體硅PERC電池工藝過程中生長致密的氧化鋁等背鈍化薄膜材料，具有多種復(fù)合膜連續(xù)生長的特點。

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機械生產(chǎn)需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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