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產(chǎn)品特點 1.成熟的高產(chǎn)能工藝、雙模溫度控制技術、薄膜硅保護技術；
2.石墨舟電極技術：前電極面接觸，可定期更換清洗電極塊，尾電極爐管外可調，加大電極尺寸及優(yōu)化電極材料，良好解決高頻報警問題；
3.快速降溫爐體：最新專利技術使爐體溫度快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內溫度均勻性；
4.專利儲舟位并行散熱方式：提升降溫效果，縮短降溫時間15%以上，同時避開底部從操作臺前面進氣，提高操作臺內部潔凈度；
5.快速自適應壓力閉環(huán)控制技術；
6.等離子放電場檢測技術；
7.裝卸片防撞舟技術；
8.一體化工控機+模塊化工藝控制軟件；
9.全面的停電安全處理和法蘭水異常保護。

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產(chǎn)品應用

在硅片表面淀積一層厚度約為75-140nm的減反射氮化硅膜(SixNy)，同時利用在淀積過程中產(chǎn)生的活性H+離子，對硅片表面和內部進行鈍化處理。在體現(xiàn)減少光反射的同時，也提高了硅片的少子壽命，最終直接體現(xiàn)在晶體硅電池的轉換效率，主要用在PERC/TOPCon電池正背面氮化硅膜生長。

產(chǎn)品參數(shù)

項目	技術指標
成膜種類	AlO,SiO,SiON,SiN,SiC
裝片量	768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm)
氧化鋁膜厚均勻性	片內≤6%片間≤6%批間≤5%(182片)
氧化鋁折射率	1.65(±0.05)
UP-TIME	≥98%
工作溫度范圍	100~600℃
溫度控制	9點控溫，內外雙?？刂?/span>
升溫方式	自動斜率升溫及快速恒溫功能
降溫方式	最新專利技術，9溫區(qū)分段控制主動降溫爐體
恒溫區(qū)精度及長度	±2°C/3200mm(500°C)
單點溫度穩(wěn)定度	<±1°C/4h(500°C)
升溫時間	RT→450℃≤45min
溫度控制	雙模精確控制
系統(tǒng)極限真空度	<3Pa
系統(tǒng)漏氣率	停泵關閥后壓力升率<1Pa/min
壓力控制方式	快速調整全自動閉環(huán)
工藝控制方式	工藝過程全自動控制，多重安全連鎖報警
人機交互界面	LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權限管理、班組管理、組網(wǎng)功能
MES/CCRM	具有

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

深圳市大族半導體裝備科技有限公司主要研究應用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產(chǎn)設備領域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，激光技術在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質提

激光切割在機械五金行業(yè)的應用方案非常廣泛，可以在不同的領域實現(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機設備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質量好、可進行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標技術已經(jīng)越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術處于全國領先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟體系的重要組成部分，承擔著物品流通的重要任務。隨著科技的發(fā)展，激光技術逐漸被應用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機械生產(chǎn)需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術應用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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產(chǎn)品參數(shù)

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國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

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